研究内容
2.研究内容
(1) 半導体部品や光学部品のための精密研削
レーザクリーニングを利用した砥石の最適利用に取り組みます。砥石表面を3D測定し、MATLAB(図1)を使って評価します。
(2) 高精度ロボットに使われる精密歯車の加工
超音波振動を利用した加工方法を適用します。シミュレーションによる加工メカニズムの解明(図2)が課題です。
(3) ウルトラファインバブル(UFB)クーラント
環境に優しく、高能率・高精度な加工を実現するため、ナノメートルの気泡を混入した水(図3)を活用する研究です。メカニズムを解明し、有効利用法を確立することが目標です。
(4) 導電性ダイヤモンド工具
導電性を持つユニークなダイヤモンドを原料とする工具を作成し、半導体部品や光学部品の製造に応用する研究です。微小な刃先(図4)を観察し、画像解析により評価します。



